針對半導體精密設備提供高效隔震解決方案,確保設備穩定運行並延長使用壽命。
±140mm 水平移能力,確保設備精準定位。
提供水平位移與垂直向承載能力,兼顧穩定與安全。
降低位移與加速度,有效減散地震能量並減少平台加速度。
提供最大空間供管線使用,不影響隔震性能,靈活配合現場管線系統。
以工程分析為基礎,整合設計、產品、測試與現場導入
設備隔震 · 設備減震 · 耐震腳座設計與分析 · 現場振動問題解決方案
探索解決方案 →恆與科技聚焦於「精密設備與環境端」的防護需求,從振動診斷、隔減震/振設計,到產品開發與驗證導入,提供可整合至產品與專案的工程解決方案。
Infinity Joint Technology — with our technology.
恆與科技提供精密科技產業可整合至產品與專案的完整防護技術鏈,不是單一零件供應,而是設備防護系統設計與現場問題解決能力的一條龍服務。
降低地震或外部振動傳入設備,亦可隔離設備振動傳出。透過隔震平台將機台與地面解耦,有效阻絕振動源頭。
以阻尼材料抑制地震對設備物的危害。透過專案設計之阻尼技術大幅吸收並耗散振動能量,保護精密元件。
兼顧設備固定、錨栓安全、抗拉拔與減振路徑。整合地震力計算、結構模型建置與有限元素應力檢核。
現地量測、頻譜分析、傳遞率估算、POC 與效益確認。從振動傳遞路徑辨識到數值模擬與現場驗證的整合策略。
設備位移、碰撞、管線拉扯與停機風險,皆可能造成嚴重損失與製程中斷。
馬達、幫浦、Chiller 等設備振源,可能影響樓板、鄰近設備與量測穩定性。
半導體、光電與伺服器等精密設備,對振動、穩定度與稼動率要求嚴苛。
L 型角鋼、錨栓與耐震固定,可能形成振動傳遞路徑,影響隔減振效益。
安裝高度、管線配置、維修動線、既有孔位與 cleanroom 條件,皆限制設計彈性。設備商不只要滿足功能需求,更要同時兼顧可靠度、耐震安全與現場可施工性。
現地振動量測
設備/樓板反應確認
頻譜、自然頻率
傳遞率與受力檢核
隔震(振)/減震(振)
構造與產品整合
材料、治具、腳座等
客製設計
測試驗證
現場效益確認
可成為產品規格、客製專案、客戶現場改善與驗收資料的一部分。
降低停機風險、減少周邊振動、提高大震後維持營運能力。
以可量測、可分析、可驗證的方式降低導入不確定性。
國立臺灣大學
國立臺灣科技大學
國立陽明交通大學
國立中興大學
國立中央大學
地震發生時,能量以P波與S波形式向四周傳遞,頻率通常介於0.1~10 Hz,直接作用於建築基礎與樓板。
In-Joint 隔震系統安裝於機台底部,利用低剛性彈性元件或主動控制致動器,使設備自然頻率遠低於地震頻率,有效解耦。
地震期間,機台幾乎不動,particle count 維持在正常水準,製程不中斷,損失為零。
台積電(TSMC)作為全球最先進的晶圓代工廠,對製程穩定性要求極為嚴苛。爐管機台(Furnace Tool)進行高溫擴散與氧化製程,對振動極度敏感,任何微小位移都可能導致晶圓上的微粒污染(particle contamination)。
"地震期間,安裝 In-Joint 的機台 particle failure 數量為零。"
某次規模 6 以上地震發生時,同廠區內未安裝隔震的爐管機台出現大量 particle failure,造成數批次晶圓報廢,損失慘重。而安裝 In-Joint 系統的機台,particle count 完全維持正常水準,製程絲毫未受影響。
此次實證充分驗證 In-Joint 隔震系統在真實地震事件下的卓越防護效果,為半導體廠房設備防震樹立了最高標竿。
Semiconductor Precision Equipment Seismic Isolation
針對半導體精密設備提供高效隔震解決方案,確保設備穩定運行並延長使用壽命。
±140mm 水平移能力,確保設備精準定位。
提供水平位移與垂直向承載能力,兼顧穩定與安全。
降低位移與加速度,有效減散地震能量並減少平台加速度。
提供最大空間供管線使用,不影響隔震性能,靈活配合現場管線系統。
Seismic Isolation System — Installation & Field Test
隔震平台實際安裝與動態測試,完整記錄從底座安裝到振動測試的現場過程,直觀展示隔震效果。
Standard Damping Solution & Installation Configurations
以反力架、FVD 與三台機台剛接形成整體減震系統,並依現場條件配置不同安裝形式。
模組化鋁方管作為反力架,不受地形限制;高強度鋼梁支撐機台側邊,安裝兩支水平 FVD。
透過連接板(側臺制衡架)與 FVD 配合,適用走道空間受限之現場條件。
Damping Effectiveness & Machine Linkage System
標準方案可有效降低機台振動反應,並透過連桿整合三台機台之整體行為。
On-site Vibration Improvement Strategy
從振動傳遞路徑辨識、改善位置選擇,到數值模擬與現場驗證的整合策略。
於高架地板面板與接縫處進行阻尼或結構補強,降低振動傳遞。
於結構樓板進行阻尼或隔振處理,降低振動傳遞與結構反應。
於設備腳座處進行減振處理,阻隔設備振動傳遞。
於支柱頂部進行阻尼或隔振處理,減少振動經由支柱傳遞。
無論是新廠規劃、既有設備補強,或是尋求符合 SEMI S2 的隔震解決方案,Infinity Joint Technology 的工程師團隊將為您提供客製化評估與建議。